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PVD镀膜机中氩气的作用是什么？

时间：2020-08-19    点击数：

AR+2是一种惰性气体（类似于氦气，氖气，氙气。都属于惰性气体里面的），PVD（物理气相沉积）中，它是作为工作气体使用的，他的作用主要是用于PVD中的辉光（清洗），沉膜时的工作气体等。

因为它是惰性家族中的气体这一，活性没有其它（如乙炔，甲烷，氮气，氧气）气体强；生产中，用氩气作为工作气体的主要是从经济上考量，成本相对于其它惰性气体是最便宜的，其次是氦气（在PVD或真空中），它用于检漏。

本文网址：http://linjianghuo.net/news/444.html

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