真空镀膜掉膜的原因有很多，比如产品表面清洁度不够，清洗过程中存在问题，工艺的问题，靶材的问题，真空腔是否漏气，产品表面氧化等。为了解决这些问题，你需要对产品表面进行离子源清洗，确保清洗到位，更换清洗液时避免化学反应残留，检查靶材是否中毒，进行真空腔漏气检查，根据实际情况处理产品表面氧化等问题。这些步骤完成后，应该能够有效地解决真空镀膜掉膜的问题。